激光修复机是一种利用激光技术对半导体芯片进行修复的设备。激光修复机主要是用于修复芯片上的缺陷或故障,以保证芯片性能和可靠性。激光修复机通常包括一个激光光源、光学系统、定位系统、运动控制系统等组成部分。在修复过程中,激光束被聚焦到芯片表面的缺陷区域,通过控制激光束能量和光斑大小,可以准确地刻划和消除芯片缺陷,使其复原到正常工作状态。激光修复机是半导体制造过程中的重要工具,可以提高芯片的生产效率和制品质量。
激光修复机广泛应用:超快激光针对半导体的精细微加工
激光修复机广泛应用:超快激光针对半导体的精细微加工
★芯片去层及图形线路切割 laser cut
★Mask掩膜版的开路断线熔接 laser welding (LCVD)
★针对Oled、Mini/Micro led面板修复Laser Repair
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